国内首台硬轴直拉炉再创新纪录

　　8月23日，浙江晶盛机电股份有限公司晶体实验室传来好消息，由公司研制开发的国内首台硬轴直拉炉成功生长出首颗8英寸硅单晶。这是我国在半导体级硅单晶生长装备领域实现的又一项重大突破，也进一步巩固了晶盛机电在晶体生长装备技术中的核心竞争力。

　　据了解，相比传统软轴直拉炉，晶盛机电开发的硬轴技术，克服了过去晶体在高晶转下生长易晃动的缺点，可有效改善晶体的径向均匀性。同时，研发团队还解决了其中的轴动密封、抗震动、轴水冷、气流场等诸多技术难题，从而为单晶体材料总体质量的提高夯实了装备基础。

　　国内集成电路产业技术的发展，对单晶材料的内在品质提出了更高要求。以硅单晶的下游产品，硅晶圆为例，其作为微电子产业最重要的原材料，长期以来严重依赖进口，贸易逆差持续扩大。而此次晶盛机电硬轴直拉炉的成功研制，则为国内大硅片行业提供了有力的装备保障。预计到2021年，公司还将继续推出12英寸硬轴直拉硅单晶炉，为国产大尺寸硅片产业腾飞助力。

　　这也是晶盛机电长期专注于半导体硅单晶生长装备研发的结果和必然方向。以半导体装备国产化为使命，公司从2007年率先推出国内首台全自动硅单晶炉开始，已接连研制出TDR85、TDR95、TDR110、TDR130等多款满足直径6-12英寸硅单晶生长装备。与此同时，又相继开发出定拉速控径、液位控制、定放肩、超导磁场拉晶等多项先进技术。期间，公司还先后主持两项国家科技重大02专项课题(“300mm硅单晶直拉生长装备的开发”和“8英寸区熔硅单晶炉国产设备研制”)，是目前国内半导体生长装备领域产品种类齐全、技术领先的硅单晶炉制造企业。